Mikrosysteme Fraunhofer IPMS entwickelt neue Sensorlösungen für Industrie 4.0

Quelle: Pressemitteilung

Die neuen Sensoren basieren auf mikroelektromechanischen Systemen und sollen die Basis für IoT und Industrie 4.0 bilden.

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Die neu entwickelten 2D-Vektorscannermodule haben einen elektromagnetischem Antrieb und verbinden 2D-MEMS-Scannerspiegel mit Mikromontagetechnologien.
Die neu entwickelten 2D-Vektorscannermodule haben einen elektromagnetischem Antrieb und verbinden 2D-MEMS-Scannerspiegel mit Mikromontagetechnologien.
(Bild: Sebastian Lassak)

Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS hat eine Reihe neuer Entwicklungen vorgestellt, die bereits auf der Laser World of Photonics in München gezeigt wurden. Wie das Institut mitteilt, geht es bei den neuen Entwicklungen vor allem um Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik.

Demnach hat das Fraunhofer IPMS hybride 2D-Vektorscannermodule mit elektromagnetischem Antrieb entwickelt. Das Fraunhofer IPMS baue hier auf seine Erfahrungen in der Herstellung von kardanisch gelagerten, monolithischen 2D-MEMS-Scannerspiegeln auf und verbindet diese mit der Mikromontagetechnologie von MEMS (Micro Electro Mechanical Systems). "Dieser neue Ansatz erweitert den Parameterraum der bisherigen monolithischen Scanner deutlich. Dabei bleiben die etablierten Vorzüge der Fraunhofer IPMS-Scannerspiegeltechnologie – hohe optische Planarität und Entkopplung der Scanachsen durch kardanische Aufhängung sowie die Ermüdungsfreiheit der Federelemente – erhalten", sagt Jan Grahmann vom Fraunhofer IPMS.

Eine weitere neue Entwicklung des Fraunhofer IPMS ist die Quantenkaskadenlaser-Spektroskopie. Die Forscher arbeiten hierbei an einem miniaturisierten Quantenkaskadenlaser, der einen großen Wellenlängenbereich und einen breiten spektralen Abstimmbereich bei hoher Scanrate abdecken soll. Am Fraunhofer IPMS sei dafür ein mikromechanisch gefertigtes Beugungsgitter entwickelt worden, das als externer Resonator des Quantenkaskadenlasers dient. Dies ermögliche unter anderem die Abstimmung von Laserwellenlängen mit wählbarer Geschwindigkeit.

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