Die piezoresistive Drucksensorchips aus dem Forschungsinstitut CiS werden dort eingesetzt, wo hohe Präzision, Stabilität und Zuverlässigkeit gefordert werden. Das gleiche Sensorprinzip wird nun auch zur Kraftmessung in Silizium-Dehnmessstreifen genutzt. Die dehnungsempfindlichen Widerstände werden dabei als Wheatstonesche Messbrücke in hauchdünne Chips monolithisch integriert. Zu finden in Halle 1, Stand 150.
( Bild: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
)
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